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PVD工藝要求真空環境中的所有部件無灰塵、鐵屑、鏽蝕等汙染物,同時基材外觀應光滑,無氣孔、內焊等缺陷。隻有滿足這些條件,才能確保PVD工藝的成功實施,製備出性能優良、外觀美觀的膜層。
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